研发芯片的他担心什么？居然是别把公司给“炸”了......

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  5月28日下午，“临港杯”2021年“创青春”上海青年创新创业大赛正式启动。活动现场，上海闪易半导体有限公司CEO鲁辞莽分享了自己的创业心得。
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他先是分享了自己读博时，与一台半导体实验设备发生的故事。这台设备是一台物理气相沉积设备，简称PVD，是半导体实验室里最普通，最常见的材料生产设备。入学第一天起，导师就分配他用这台PVD来做实验。为了能有更好的研究成果，鲁辞莽也主动也承担起了它的维修维护工作。跟学校里和仪器生产厂派来的工程师老师傅们拜师学艺。
虽然只是一台小小的设备，但它的维护维修其实是一门很深的学问。鲁辞莽说：“就拿拧螺丝来说，大家都会，我家孩子刚上幼儿园玩乐高积木都会拧螺丝了。但是，会给这样的半导体设备拧螺丝的人，几万个人里也挑不出一个。”
首先，得放一个黄铜密封垫圈，黄铜垫圈在压力很大的时候是软的，会贴合表面，气密性特别好。但放了垫圈后，只要拧螺丝的顺序和力度有一点点不对，下面的黄铜垫圈就会因为挤压走形而漏气。
( M& v$ l# y+ F/ z那这个螺丝该怎么拧呢？快十年过去了，这个流程鲁辞莽现在还记得很清楚，首先，扳手调到12磅力，按照上、下、左、右、左上、右下、右上、左下米字型的顺序拧一遍。然后，再按照顺时针的顺序对每个螺丝拧一遍。接着，把扳手调到15磅力，把刚才的顺序用顺时针的流程再来一圈。这样才能保证不漏气，错一点都不行。拧螺丝只是一个操作细节，像这样的操作细节，有整整一本手册。
% \! U8 s7 j; C6 I! [2 C' L) I“我比较自豪的是，这个操作手册上好些章节还是我自己优化改进的”，鲁辞莽举例，比如说微小漏气检查，过去都是用吸入法，就是把设备抽真空，用酒精去滴怀疑漏气的地方，滴到某一个地方，真空计报警了，就说明酒精被吸进去挥发了，那这个地方就是漏气点。但酒精一吸入，就会带来酒精污染。所以鲁辞莽改良出了新的吹气法，就是把所有出气口都关死，用特别纯净的高压气瓶把设备充到2个大气压。这时有破损的地方就会慢慢往外吹气，只要用几滴气泡水，就能找到有吹气出来的地方。这样的吹气检修法，没有杂质会进到设备里面，就特别干净。
读博几年里，鲁辞莽凭着这个的爱好，在这台PVD上做实验都特别顺利，他在上面做出的研究结果，也让他获得了学术界和工业界的认可。在国际集成电路大会的网站上，现在还有他歪头傻笑的照片，就是靠这台PVD挂上去的。
7 `* D& n6 N7 M8 \# e+ M然而，就在他开始因为这一点点进步而骄傲的时候，发生了一个意外——因为误操作，他亲手把自己的PVD炸了——有次给设备彻底断电检修，因为太自信，他没跟别人商量，就自己动手按照手册关机断电了。谁知，有一路平时不怎么用的气路，连接到了一个100个大气压的超高压气瓶上，在断电的时候，卡在他们的中间的一个特种阀门会默认打开，把两者联通起来。这台PVD，因为是气密的，就被慢慢地充到了100个大气压，就像一个气球一样被吹炸了。
' D: O: V7 S  W8 m0 P( \$ _" I虽然导师没有责怪他，但这件事让他从骄傲自满里惊醒了。一台小小的实验设备，自己搞了这么多年，还是没彻底弄明白。那工厂里那些真正的大机器、那些巨型的产线、整个无比复杂的半导体产业链，就更需要钻研。
5 c: O2 z# m4 [1 g后来他从PVD转向了芯片设计领域，2016年创业时，他就和创业伙伴约定，要默默无闻，脚踏实地做芯片开发。“生产芯片产品，是一件必须敬畏的事。”
) {6 p  I* _. R6 d近些年，行业竞争越发激烈，他们团队也有了一些不错的研发成果，偶尔也会动摇，要不要做些能更快变现的芯片设计？这时，他就会想到那台炸掉的PVD，然后提醒自己：要稳住，不要把公司也炸掉了。后来，他们熬了3年多，打通了一种以前没人做过的芯片技术，并推向了市场。
他最后说：“我想对像我一样在芯片行业奋斗的朋友们说，让我们多一点点默默无闻，多一点点脚踏实地，共同攻克一个个难题；对关心中国芯片产业发展的朋友们，请给我们多一点点时间，多一点点宽容，我们一定迎头赶上，造出世界领先的中国芯。”



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